Главная > Каталог > Вакуумное оборудование > Напылительное вакуумное оборудование

Напылительное вакуумное оборудование

nv1.jpg

Установка индирования предназначена для нанесения в одном цикле, без вскрытия рабочей камеры на атмосферу, последовательно двух покрытий магнетронным напылением, обслуживанием дозированным количеством индия.

Основные технические характеристики:

  • Температура нагрева изделия  100÷350 С.
  • Количество напыляемых изделий  24 шт.
  • Количество ионных источников  1 шт.
  • Количество магнетронов  2 шт.
  • Количество устройств индирования  1 шт.
  • Максимальная температура печи индирования  260 С.
  • Рабочее давление 5•10-4 Па.
  • Предельное остаточное давление в рабочей камере 1•10-4 Па.
  • Время достижения рабочего давления 40 мин.
  • Длительность цикла 5 час.
  • Режим работы установки автоматический
  • Потребляемая мощность 8 кВт.
  • Габаритные размеры (Д•Ш•В) 1380•750•2100 мм.
  • Масса изделия 350 кг.

Требуемые среды:

  • вода техническая давлением (0,2÷0,5) МПа, расход 0,5 м3/ч. и температурой не более 25 С;
  • сжатый воздух давлением (0,4÷0,8) МПа;
  • аргон газообразный марки “особый чистый” давлением (0,2÷0,4) МПа;
  • азот газообразный давлением (0,1÷0,2) МПа;
  • гелий газообразный давлением (0,1÷0,2) МПа;
  • слив воды с расходом не менее 0,5 м3/ч.

nv2-e1477303376677.jpg

Установка хромирования предназначена для магнетронного напыления металлов с предварительной ионной очисткой и нагревом изделий.

Основные технические характеристики:

  • Температура нагрева изделия 100÷350 С.
  • Количество напыляемых изделий 24 шт.
  • Количество ионных источников 1 шт.
  • Количество магнетронов 2 шт.
  • Рабочее давление 5•10-4 Па.
  • Предельное остаточное давление в рабочей камере 1•10-4 Па.
  • Время достижения рабочего давления 40 мин.
  • Длительность цикла 2 час. (с нагревом 4 ч.)
  • Режим работы установки автоматический
  • Потребляемая мощность 5,5 кВт.
  • Габаритные размеры (Д•Ш•В) 1320•750•2100 мм.
  • Толщина покрытия 0,3÷05 мкм

Требуемые среды:

  • вода техническая давлением (0,2÷0,5) МПа, расход 0,3 м3/ч. и температурой не более 25С;
  • сжатый воздух давлением (0,4÷0,8) МПа;
  • аргон газообразный марки “особый чистый” давлением (0,2÷0,4) МПа;
  • азот газообразный давлением (0,1÷0,2) МПа;
  • гелий газообразный давлением (0,1÷0,2) МПа;
  • слив воды с расходом не менее 0,5 м3/ч.
  • Масса изделия 370 кг.